一种高纯度、高成分均匀性的镍铬合金靶材及其制备方法

暂无    2016-03-23

摘要:本发明涉及一种高纯度、高成分均匀性的镍铬合金靶材及其制备方法,采用的技术方案是:基于材料科学与工艺计算模拟仿真的结果,对镍铬系列合金靶材的熔炼、凝固、热机械加工和退火热处理工艺参数进行精密控制,本发明方法所设计和制备的镍铬系列合金靶材,合金成分范围宽,按原子百分含量计可含5%~95%镍,含杂质≤0.0005%,及含余量的铬,可广泛应用于光电、数据存储工业、集成电路、光通讯工业等高精尖行业。